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Analog Devices
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高频成分；最后 信号经调整，经跟随器输出。该套电路在开环的基础上有选择地 增加了agc 控制回路，拟增加传感器的灵敏度和带宽，压低噪声。 具体电路如图六所示：采用芯片u0（ max038）信号发生器芯片产生 1m hz 的正弦交流信号；u1 （ad797）运算放大器组成反相比例放大器，u2（ad797） 运算放大器组成反同相比例放大器。1m hz 的交流信号经 u1，u2 后，变为大小相等，方向相反，及相位相差为 1800 的 二个交流激励信号，用该 交流激励信号激励差分电容传感器；u4（ad745jr）是高输入阻抗电荷转移放大器，该放大器的特点是 具有很高的输入阻抗，漏电电流极小（注：mems 电容传感器△c 一般只有1—4p，漏电对传感器的精度 影响很大），提高系统精度。u4 是调理电路的中心，它是将在外加激励信号的作用下，传感器振动引起 的电荷的变化转移成电压信号的变化。r12、r13、r14 采用t 型连结，目的是提升电路阻抗，提高电路 系统放大倍数。u6（ad797）运算放大器是 将c11、r16 组成的高通滤波器已去除低频干扰后的电压信 号经适当放大，为下一步同步解调作好准备；u3
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