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T46X型硒镓银单晶炉的研制
有坩埚杆下支撑。3 电气控制3．1 速度控制系统包括炉室慢速提升速度控制和坩埚旋转速度控制系统，控制方式均相同，都是采用美国进口速度控制器宋直接驱动直流伺服电机。控制框图如图1所示：3．2 旋转方向控制系统该部分解决主要技术指标第14项所要求的功能。由于电机方向由给定信号的正负决定，因此可以通过改变给定电位器的电源正负，来改变正反方向。而定时时间的改变，考虑到定时的精度和可变要求，还是用单片机实现比较好。3．3 硬件组成(1)aduc812单片机，该芯片具有8k的flash程序区；(2)模拟开关adg202，可以无触点切换给定电位器的正负电源，从而避免了用继电器时，使用寿命的限制。(3)显示采用max7219芯片驱动四位共阴极数码管，用以每段工作时间。硬件电路框图如图2所示。软件主程序见附录。4 本设备特点综上所述，t46x单晶炉具有以下特点：本设备炉室设有三段加热区，以三温区的形式在空间建立温度的数量场，以满足生长条件所要求的各点梯度向量的分布规律。另外温度自动控制系统采用三套ugu的ai系列人工智能工业调机器／温度控制器，可精确控制炉内三温区温度，保证晶体生长界面所需的温度梯度。炉室升降机构使

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