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掩模版制造考验中国洁净室设计建造水平
力越大。在电子行业，规范、精细化的要求将渗透到企业的每一个环节，同时对洁净厂房的建设要求也会越来越高。净化企业很难仅仅依靠价格优势、施工速度占领市场，而是要靠新技术和施工综合管理水平赢得市场份额。只有技术超前、质量过关的净化企业才能满足标准。同时，国内企业还必须拥有自主知识产权，以应对外国企业的竞争。我国电子信息产业将持续发展，国内企业必须做好依靠精品工程获取利润的准备。由碧海永乐设计并建造的清溢tft-lcd掩模版项目就是最好的例证。该项目洁净室空气洁净度等级为1级(美联邦标准fs209，相当于国际标准iso3级)和10级(美联邦标准fs209，相当于国际标准iso4级)，且面积达到800平方米。该工程不仅洁净度要求较高，同时对温度、相对湿度、防微振、防静电等相关参数的要求也远远超出一般设计要求，对设计人员的设计水平是一个严峻的挑战。为了满足高级别洁净度的要求，在设计、建造过程中，碧海永乐坚持科技领先、创新工艺设计。针对空气过滤，采用了空气净化系统6级过滤流程——— 初效、中效、化学、中效、高效、超高效(终端)，实践证明行之有效。在iso3级和iso 4级洁净室，断面风

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