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集成电路静电放电模拟器校准与测量不确定度
电放电模拟器校准装置进行集成电路静电放电模拟器校准，需要注意以下几个问题： 1）连接放电端子与地端子的短路电流导线应尽量短，以减小外界电磁干扰等对测量结果的影响； 2）由于进行校准时，示波器工作在50ω输入阻抗下，此时示波器的输入电压范围较小（一般不超过15vp-p），防止电压过高损坏示波器； 3）校准时，尽量使采集的波形布满示波器显示屏，以提高测量的精确定。高频电流探头选用tektronix 公司的ct-1、20 db衰减器microcircuits 公司的hat-20、数字示波器选用tektronix 公司的tds5104。根据gjb548b-2005, 器件esd 测试要求在±0.5 kv、±1 kv、±2 kv、±4 kv、±8 kv 下进行，因此对于集成电路静电放电模拟器的校准也在这些典型电压下进行。表1 给出了标准对静电放电模拟器的放电波形参数要求。表1 集成电路静电放电模拟器短路电流参数要求 3 校准实例下面以+2 kv 为例进行校准方法的说明和测量不确定度的分析。校准时，选取放电线路最长的一对管座引脚进行

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